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大面积平板显示光刻机

发展阶段：突破关键技术、形成解决方案

合作方式：其他

产业领域：机械电子

成果简介

已基本掌握大视场投影物镜设计、大行程、高速、高精度工件台等关键技术，为大面积高精度投影光刻设备的研发积累了技术基础。

成果来源

中科院光电技术研究院

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